高反晶圆轮廓高速测量组件
· 2024-04-19
| 高反晶圆轮廓高速测量组件 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院光电技术研究所2024年5至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 高反晶圆轮廓高速测量组件 |
| 预算金额： | 400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100404光学式分析仪器 |
| 采购需求概况： | 一、数量：1二、主要功能：高反晶圆轮廓高速测量组件，对高反射率晶圆面形进行三维检测和数据分析。三、主要构成部分：1、测量主机：测量口径大于6英寸，面形测量精度优于32nm；测量重复性优于0.6nm；一倍光学变焦和10倍数字变焦，面形实时测量频率不小于10Hz;2、光源：光源波长为633±1nm，具备长时间稳定性。3、相机：相机分辨率≥2048×2048；相机采集频率不小于50Hz；4、电脑主机：配备的分析软件可对测量面形进行分析和处理功能（计算36项Zernike系数、峰—谷值、标准偏差、面形相减功能、可显示被测面形的二维、三维图像）；提供软件开发工具包，可进行二次开发。5、线缆：所配备线缆长度大于10m。 |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | 外协 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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