倒立掩摸轮廓测量组件
· 2024-04-16
| 倒立掩摸轮廓测量组件 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院光电技术研究所2024年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 倒立掩摸轮廓测量组件 |
| 预算金额： | 430.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100404光学式分析仪器 |
| 采购需求概况： | 一、倒立掩模轮廓测量组件功能：1、研制倒立掩模轮廓测量组件，可以对倒立状态下的掩模实时进行三维面形检测和数据分析，测量口径大于2英寸。二、倒立掩模轮廓测量组件主要单元1、测量主机：测量主机是测量的主体部分，主要完成倒立掩模外形的数据采集，面形测量精度优于32nm；测量重复性优于0.6nm；可用于高反射率表面面形测量（镀铬表面）；测量主机外形尺寸500mm（长）×400mm（宽）×230mm（高）,测量主机的重量小于40Kg，方便搬运。2、测量光源：测量光源采用外差调制光源，并通过光纤导入测量主机，从而使测量主机不需要机械移项便可以进行测量。3、电脑主机：电脑主机主要对测量主机测量结果进行实时处理和显示； |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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