等离子体增强原子层沉积系统
· 2022-10-17
| 等离子体增强原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 467.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100604生物、医学样品制备设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购等离子体增强原子层沉积系统1台，采购设备需实现的主要功能：可以实现多孔材料、超高深宽比（最高可达1:2500）和纳米颗粒表面ALD沉积，50–500℃，等离子450℃；可实现Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2,AlN, TiN,以及金属Pt或者Ir的沉积；300℃下，在8英寸wafer上，采用TMA和H2O沉积50nm Al2O3，薄膜均匀性≤2%（1-sigma，除去边缘5mm）。卖方需提供的服务：接到用户安装通知后，48小时内安排技术人员上门安装调试直至达到验收指标，所有安装、调试工作自带必要的专用工具，安装、调试及所派人员的一切费用由卖方承担。仪器应用、实验设计、数据分析、故障诊断等几个方面长期提供及时的支持与服务。提供仪器终身培训支持、在接到采购人的故障信息或者需求信息后，24个小时内响应。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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